2022/11/16 9:51:49
一、测量面的平行度及平面度采用光学平晶进行检验:光学平面与丝杆测量面或测砧测量面贴合度后,由于测量面的不平度,防水数显千分尺哪有卖的,使平晶与测量面之间存在空隙,从而产生干涉带或干涉环,在测量面的垂直方向每条干涉带或干涉环所代表的平面度误差为0.3μm.
二、测量面的平行度误差:测量范围上限至100mm的千分尺两侧量面的平行度采用丝杆螺距的1/3或1/4的光学平行平晶来进行检验,依次将光学平行平晶防入两测量面间转动测力装置。施加5-10N的力,防水数显千分尺多少钱,使两测量面出现的干涉环或干涉带数目减少至少.测量范围大于100mm的千分尺,中山防水数显千分尺,测量面的平行度可用自准直仪进行检验.在距测量边缘0.4mm范围内的平行度忽略不计,
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三、测量面的平面度误差:
采用二级光学平晶检验,应调整光学平晶使测量面上干涉带或干涉环。测量面不应出现两条以上的相同颜色的干涉环或干涉带(测量量面的平面度,〈0.6μm)在距测量面边缘0.4mm范围内的平面度忽略不计。