如不同截面形状的内径尺其长度 L 虽相同，内径千分尺制作，当支承在L处时，都能使内径尺的实测值误差符合要求。但支承点稍有不同，其直线度变化值就较大。所以在国家标准中将支承位置移到支承距离位置时的直线度变化值称为“自然挠度”。为保证刚性，在我国国家标准中规定了内径尺的支承点要在（2/9）L 处和在离端面 200 mm 处，内径千分尺，即测量时变化量。并将内径尺每转 90°检测一次，其示值误差均不应超过要求。
千分尺也称螺旋测微器。个这样的测量工具是由法国发明家Jean Laurent Palmer 在1848 年获得了专利，被称为“带圆游标尺框的螺纹卡尺”。今天，我们仍然利用这一典型特征制造外径千分尺，千分尺分为机械式千分尺和电子千分尺两类。
1、电子千分尺
如数显外径千分尺，也叫数显千分尺。测量系统中应用了光栅测长技术和集成电路等。电子千分尺是20世纪70年代中期出现的，用于外径测量。
2、机械式千分尺
如标准外径千分尺，简称千分尺，是利用精密螺纹副原理测长的手携式通用长度测量工具。1848年，法国的J.L.帕尔默取得外径千分尺的专利 。千分尺的品种很多。改变千分尺测量面形状和尺架等就可以制成不同用途的千分尺，如用于测量内径、螺纹中径、齿轮公法线或深度等的千分尺。
内径千分尺的结构特点：
内径千分尺的测量下限有50mm、75mm、150mm等，测量上限至5000mm。单体内径千分尺的示值范围为25mm。其主要由固定测头、螺母、固定套管、锁紧装置、测微螺杆、微分筒、活动测头、调整量具、管接头、弹簧、套管、量杆几部分组成。主要是用来对内尺寸的测量，而且往往要接杆使用，有测微头与接长杆的不同组合得到不同的测量范围，内径千分尺采购，通常50-5000mm.
所生产的内径千分尺可分为普通内径千分尺和杆式内径千分尺，前者又称为带量爪内径千分尺，也称内测千分尺，适用于测量孔径不大的测量，这种千分尺和外径千分尺的不同之处在于固定套筒的刻线方向正好相反。这是因为当微分筒转动时候，内径千分尺哪家好，是测杆带动左边的量爪移动。
测量大孔径时候，可用杆式内径千分尺，或者接长杆。
内径千分尺是由微分头和成套接长杆组成，附有测量面为两平行面的调整量具（或者校对卡规），用于校对微分头的零位。
微分头的结构特点是无测力控制机构，因此由测力引起的测量误差会相应增大。在固定套筒一端有螺纹，用以接长杆链接。有锁紧螺帽将微分筒端面与测微螺杆尾部的突缘压紧，使得测微螺杆与微分筒结成一体。
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